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　　微光顯微鏡(Emission Microscope，EMMI)是一種在半導(dǎo)體制造和測試過程中至關(guān)重要的故障分析和失效檢測工具。通過偵測半導(dǎo)體器件內(nèi)部因缺陷或異常而釋放的微量光子，實現(xiàn)對元件缺陷的精確定位和分析。當(dāng)給缺陷/失效半導(dǎo)體元件施加電壓時，元件中電子-空穴對結(jié)合產(chǎn)生光子，或者元件的熱載子釋放出多余的動能，這些光子以光子的形式呈現(xiàn)，并被EMMI所偵測到。這些被偵測到的故障點也被稱為亮點或熱點(Hot spot)。

　　自主研發(fā)的EMMI，憑借其配備的高增益相機與探測器，以及先進的圖像處理技術(shù)，能夠精準捕捉到這些微弱的光子信號。該設(shè)備在檢測過程中不會對被測元件造成任何物理損傷，確保了測試的準確性與可靠性。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，EMMI不僅能夠協(xié)助技術(shù)人員精確定位缺陷、深入理解失效機制，從而改進制造工藝、提高產(chǎn)品質(zhì)量;同時，它還可用于檢測半導(dǎo)體器件的多種失效情況，如漏電結(jié)、接觸毛刺、閂鎖效應(yīng)以及氧化層漏電等。EMMI作為一種高效的故障分析和失效檢測工具，在半導(dǎo)體領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景和重要的技術(shù)價值。